Motor linear ultrafino em miniatura de alta frequência para controle de wafer

Descrição do Produto:

A armadura do motor linear consiste apenas de bobinas sem ímãs, eliminando a atração magnética entre as partes móveis e estacionárias. Este design evita efeitos de engrenagem, garantindo uma operação suave. Sua construção leve permite alto desempenho de velocidade e aceleração. As características de impulso são suaves, alcançando alta precisão quando combinadas com encoders lineares. O curso pode ser estendido arbitrariamente, operando silenciosamente e sem necessidade de manutenção. Apresenta resina epóxi importada preenchida a vácuo em alta temperatura e pressão, juntamente com cabos de alimentação altamente flexíveis. Amplamente aplicado em equipamentos de fabricação de semicondutores, equipamentos de teste de precisão para a indústria de telas planas, máquinas de corte/marcação a laser e sistemas de inspeção de visão de máquina. O design modular permite usinagem personalizada.
A tecnologia de motor linear é o principal impulsionador do avanço dos equipamentos de fabricação de semicondutores, servindo como a unidade direta essencial para alcançar o posicionamento preciso da pastilha e o movimento de alta velocidade.
Aproveitando sua alta precisão, velocidade, aceleração e características de movimento suave, o motor linear permite a extração precisa da pastilha de cassetes dentro dos sistemas de transferência de pastilhas, a colocação de alta precisão em estações de processamento e o retorno rápido das pastilhas aos cassetes após o processamento.
Dentro das plataformas de posicionamento de precisão, os motores lineares suportam e posicionam com precisão as pastilhas. Os transportadores de pastilhas devem realizar movimentos de avanço e varredura em nível de nanômetro dentro do plano XY para concluir a exposição. Em microscópios e equipamentos de detecção de defeitos, as pastilhas também devem ser movidas com precisão sob as sondas de inspeção.

Parâmetros do Produto: