Motor de bobina de voz micro rotativa de alta precisão para inspeção e medição de wafer

No equipamento de inspeção de wafer e metrologia, o motor de bobina de voz rotativa é o principal componente motriz para alcançar uma inspeção de varredura precisa.Aproveitando as suas características de largura de banda elevada e de alta precisão, pode conduzir sondas de inspeção ou lentes ópticas para realizar varreduras de rotação de alta frequência e de pequeno ângulo ao redor da superfície da wafer.Juntamente com a otimização de algoritmos de controladores de movimento especializados, permitindo a identificação de defeitos a nível nanométrico e a medição precisa.suprime eficazmente as interferências de vibração, e garante a captura precisa de defeitos em nanoescala durante a inspeção de defeitos de wafer e a varredura de padrões de circuito.Também atende aos requisitos de movimento de rotação de plataformas de ajuste de wafer de três graus de liberdade, permitindo ajustamentos angulares finos ao longo dos eixos θx/θy, fornecendo um suporte confiável para o controle do rendimento nos processos de fabricação de semicondutores.