Motor de bobina de voz rotativa micro-resonante de alta frequência utilizado para embalagens de chips

Como componente de potência de tração direta de alta precisão, o motor de bobina de voz rotativa desempenha um papel fundamental na calibração do ângulo da wafer durante o processo de alinhamento e posicionamento da wafer,graças às suas principais vantagens de ±0.01° repetibilidade rotacional, velocidade de resposta de nível milissegundo, funcionamento sem engrenagens e baixo desgaste.Os desvios angulares da bolacha afetam diretamente a precisão dos processos subsequentesO motor de bobina de voz rotativa pode conduzir rapidamente o estágio da wafer para realizar ajustes de rotação de ângulo fino com base no feedback do sistema de posicionamento de visão,com um tempo de resposta inferior a 10 ms, assegurando o alinhamento preciso da bolacha com a máscara de litografia e o caminho de gravação.que satisfazem perfeitamente os requisitos de alinhamento de alta precisão para as wafers ultrafinas e de forma irregularAlém disso, o seu projeto estrutural compacto permite a integração em espaços de dispositivos limitados e se adapta aos requisitos de projeto integrados da plataforma de ajuste de wafer.