Actuador de bobina de voz linear de alta resposta para inspeção de wafer de semicondutores

Os atuadores de bobina de voz lineares são especialmente adequados para processos de precisão, como alinhamento, classificação e manuseio de wafer nas linhas de produção de semicondutores.A sua reação negativa zero e a sua elevada repetibilidade garantem operações de micro-deslocamento altamente precisasA estrutura de movimento sem atrito aumenta ainda mais a capacidade de resposta dinâmica, tornando-os actuadores ideais para sistemas de controlo industrial de precisão.

Motor de bobina de voz linear montado no eixo do SUPT ′, modelo VCAB0044-0075-00A,Dispõe de um eixo de movimento integrado combinado com rolamentos lineares duráveis para proporcionar um movimento excepcionalmente suave mesmo sob altas cargas dinâmicasA sua configuração interna inclui um ímã permanente de alta energia e uma bobina móvel leve.atingir uma inércia mínima e permitir mudanças rápidas da força de saída, uma característica essencial dos atuadores de tração direta de alto desempenho.

Ao contrário dos sistemas convencionais a parafuso ou a engrenagem, a série VCAB elimina todos os elementos de transmissão mecânica,fornecendo uma operação de reação zero e reduzindo os erros de posicionamento causados pelo desgaste ou atritoCom uma capacidade de resposta de milissegundos, o motor se destaca em aplicações que exigem ajustes frequentes de velocidade, tais como triagem de alta velocidade, alinhamento de visão de máquina,e estágios de controlo de movimento de precisãoQuando integrado com a detecção de circuito fechado, pode alcançar uma excelente precisão de posicionamento e repetibilidade.