Motor de bobina de voz linear de alta precisão de alta resposta para controle de micro movimento de semicondutores

Em processos de fabricação de semicondutores, como processamento de wafers, litografia, inspeção e embalagem, o controle de microposicionamento exige precisão extremamente alta, resposta rápida e estabilidade a longo prazo. Os Motores Lineares de Bobina de Voz, com operação de acionamento direto e excelente desempenho dinâmico, tornaram-se uma solução de atuação ideal para controle de microdeslocamento em equipamentos de semicondutores.

Os Motores Lineares de Bobina de Voz geram impulso diretamente através da força eletromagnética, permitindo movimento linear sem atrito e sem folga, com resolução de posicionamento em nível de micrômetro ou até mesmo nanômetro. Comparados aos mecanismos tradicionais de fuso de esferas ou servoacionados, os motores lineares de bobina de voz oferecem precisão e repetibilidade de posicionamento superiores em faixas de curso curtas. Eles são particularmente adequados para alinhamento de wafers, foco óptico, controle de contato de sonda e estágios de posicionamento de precisão.

Em aplicações de varredura de alta velocidade e compensação dinâmica, os motores lineares de bobina de voz oferecem alta aceleração e resposta de alta frequência, permitindo o rastreamento preciso de comandos de controle e compensação eficaz de erros do sistema e distúrbios ambientais. Seu movimento suave e de baixa vibração ajuda a minimizar as perturbações do processo na fabricação de microestruturas e garante um desempenho de processo estável.