motores de bobina de voz cilíndrica de alta precisão 44N para equipamentos semicondutores

Visão geral do produto

O VCAR0044-0075-00A é um motor de bobina de voz cilíndrica projetado especificamente para alcançar alta precisão de posicionamento.Este motor de bobina de voz fornece movimento linear direto com um impulso máximo de 44N sobre um 7.5 mm de tração e alcança uma resolução de posicionamento de 0,5 um quando utilizado no controlo de circuito fechado com um codificador linear.
O design da bobina móvel sem contato elimina reação, engate e histerese, permitindo que o motor mantenha sua posição e retorne repetidamente ao mesmo local.O caminho rígido de movimento e a baixa massa móvel proporcionam ao sistema uma alta largura de banda mecânica, ajudando o servo loop a suprimir perturbações e estabilizar rapidamente.
Este motor de bobina de voz é fabricado usando componentes de terra de precisão e um circuito magnético equilibrado para manter a onda de força baixa.As superfícies do trilho de orientação de terra de precisão e os ímãs combinados mantêm a onda de força abaixo de 1% do valor de saída nominal durante todo o cursoÉ um componente ideal para equipamento de alinhamento, inspecção ou medição a nível de micrómetros.

Solução

Os erros de posicionamento em equipamentos de precisão geralmente são causados por reação negativa, atrito de deslizamento, deriva térmica e ressonância mecânica.Os motores de bobina de voz eliminam completamente as duas primeiras fontes de erro: não existem engrenagens ou parafusos de chumbo para causar reação, e o projeto da bobina sem contato significa que não há atrito estático a ser superado.Os erros restantes são controlados através de um sistema de circuito fechado que incorpora um codificador linear de alta resolução, que fornece um feedback direto sobre a posição real da carga.
Uma vez que a força é proporcional à corrente, o servosistema pode aplicar com precisão exatamente a quantidade certa de força para alcançar movimentos de 0,5 micrômetros ou manter uma posição estável sob carga.O resultado é um eixo de movimento com precisão de nível micrométrico, livre de deriva induzida pelo desgaste, e desempenho consistente ao longo de milhões de ciclos.
Como não há atrito, os efeitos de deslizamento do bastão - uma causa comum de agitação nos estágios tradicionais - não ocorrem mesmo a velocidades extremamente baixas.Esta solução aumenta a produtividade ao mesmo tempo em que reduz o desperdício e o retrabalho.

Especificações

Aplicação

Aplicações típicas: Estes incluem o alinhamento de wafer de semicondutor, fotônica e alinhamento de fibra, posicionamento da cabeça de processamento a laser, foco do eixo Z em microscópios, plataformas de medição de precisão,Inspecção de máscaras, e posicionamento de dispositivos médicos.
Este atuador de bobina de voz também é usado em sistemas de autofoco para câmeras industriais e para controle de válvulas de precisão em instrumentos analíticos.Qualquer tarefa de movimento de curso curto que exija resolução submicrônica e capacidades de manutenção de posição estável pode beneficiar deste atuador.

Perguntas frequentes

P: Como é alcançada a resolução de 0,5 um?
R: A resolução provém da combinação de um motor de bobina de voz sem atrito e um codificador linear de alta resolução em um circuito servo fechado.e a saída de força suave do motor permite movimentos de um passo de 0.5 um.

P: Quais são os factores que influenciam a repetibilidade?
R: A repetibilidade depende principalmente da qualidade do codificador, do ajuste do servo e da estabilidade térmica.Assim, a repetibilidade mecânica permanece consistente ao longo da vida do motor.A calibração regular do codificador é a única manutenção de rotina recomendada.

P: O motor pode manter a posição quando ligado?
R: Sim. Em um circuito fechado, o servo pode manter a bobina em qualquer posição dentro do curso, equilibrando a força contra a carga.

P: Posso obter uma opção de traço ou codificador personalizado?
R: Sim. O SUPT MOTION pode ajustar o curso, a força, a tensão e o tipo de codificador. Entre em contato conosco com o seu objetivo de precisão e perfil de movimento para uma proposta personalizada.